SRM101四點探針薄膜電阻量測儀(Four Point Probe Sheet Resistance Meter)是應用四點探針測量原理的多用途測量裝置，它可以測量片狀、塊狀半導體材料的電阻率，測量擴散層的薄膜電阻（片電阻即方塊電阻）。裝上特製的四點探針測試夾具，可以對金屬導體的低、中電阻進行測量。儀器由主機及測試探頭組成，測試結果由數位直接顯示。主機由恒定電流源，高解析度ADC、嵌入式單晶片系統組成，自動轉換量程。測試探頭採用高耐磨碳化鎢的探針製成，定位準確、遊移小、壽命長。儀器適用於半導體材料廠、半導體器件廠、科技研究單位、高等院校對半導體材料的電阻性能的測試。特別適用於要求快速測量中低電阻率的場合。本儀器工作條件為：溫度 23℃±2℃; 相對濕度 60%～70%;工作室內應無強電磁場干擾，不與高頻設備共用電源。
