四點探針薄膜電阻量測儀(FPSR100)是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量半導體材料的電阻率，測量擴散層的薄層電阻（亦稱片電阻）。特製的四探針測試夾具，還可以對金屬導體的低、中值電阻進行測量。
夾具 半導體 電阻
